Bruker白光干涉仪的结构组成和应用说明

　　Bruker白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪*的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

　　Bruker白光干涉仪由以下及部分构成：

　　光学照明系统 ，采用卤素光源，其中心波长为576纳米，光谱范围从340纳米到780纳米。光学成像系统 采用无限远光学成像系统，由显微物镜和成像目镜组成。垂直扫描控制系统 由压电陶瓷以及控制驱动器构成，采用闭环反馈控制方法，可精密驱动显微物镜上下移动，移动范围100mm。位置移动精度为0.1纳米。信号处理系统 信号处理系统是该仪器的核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。应用软件 应用软件主要由操作控制部分，结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时，以三维立体，二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。

　　Bruker白光干涉仪的测量应用说明：

　　以测量单刻线台阶为例，在检查仪器的各线路接头都准确插入对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。

　　在计算机上打开光学3D表面轮廓仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，光学3D表面轮廓仪可自动进行扫描测量，测量完成后，软件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。