Bruker白光干涉仪的原理和八大特点

　　Bruker白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

　　Bruker白光干涉仪光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光Z终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

　　Bruker白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

　　Bruker白光干涉仪于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度很高的测量仪器之一。

　　Bruker白光干涉仪特点：

　　1、非接触式测量：避免物件受损。

　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。

　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

　　4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。

　　5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。

　　6、扫描仪：闭环控制系统。

　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

　　8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

　　以上就是Bruker白光干涉仪的原理和特点介绍，供大家参考！